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涡轮分子泵是一种高效的真空泵，其工作原理是利用高速旋转的涡轮叶片将气体分子从进口处吸入，然后通过多级叶片的压缩和扩散，将气体分子排出泵体，从而实现真空抽取的目的。高速涡轮分子泵被广泛应用于半导体制造、光学薄膜制备、航空航天、医疗设备等领域。分子泵在进行高速工作的时候，转子不平衡引起的振动会直接影 响分子泵的性能和工作环境，严重的还会导致设备破坏及损失，所以必须严格对待分子泵转子动平衡。 瑞典VMI X-Balance

大阪的涡轮分子泵出现故障代码94，问了别人说是锁住了，有没有大神赐教一下如何清除故障

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在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。 随着复合分子泵的不断改进，其应用领域越来越广，在某些抽气

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为： 1.牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。 2.涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。 3.复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。 了解更多仪器信息

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（1）转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。 （2）气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。 查看更多科研设备信息，网页到：仪器+（专业仪器设备的知识内容平台 木木西里）

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分子真空泵是在 1911 年由德国人盖德(w · Gaede) 首先发明的，这种分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。牵引分子泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特

一个装有单独粗抽管路的涡轮分子泵抽气系统的操作方法与扩散泵抽气系统相似。在开始粗抽以前，高真空阀和粗抽阀是关着的，而前级管道阀是打开的。 1、首先关闭前级阀，启动粗抽泵(兼前级泵)，打开粗抽阀开始对真空室进行抽气。在真空室内的压力降到150~100Pa时关闭粗抽阀，打开前级管道阀。 2、再启动涡轮分子泵(需先接通冷却系统)。如果分子泵入口处装有液氮冷阱，则应在泵加速到额定转速后(一般需5~10min)加注液氮。粗抽系统的配置随真空

分子泵输送气体应满足二个必要条件： 1)分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有 0.06μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动 0.06μm ，就可能与第二个气体分子相碰。而在1.3Pa 时，分子间平均自由程可达 4.4mm 。在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为： 1.牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。 2.涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。 3.复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。 了解更多仪器信息

抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单 工作范围：清洁的低真空~中、高真空，大气~超高真空 极限真空：10-6/ 10-10torr 缺点：结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高 [1] 更多高质量科研设备文章，到：仪器+，一键获取

泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮（或空气）的压缩比为108～109；对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。 泵的极限压力为10-9Pa，工作压力范围为10-1～10-8Pa，抽气速率为几十到几千升每秒（1L=10-3m3）。 涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有

动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米/秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。右图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。 服务科研，助力科技。网页到：木木西里 仪器＋，了解更多科研知

涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。 更多高质量科研设备文章，到：仪器+，一键获取（专业仪器设备的知识内容平台 木木西里）

955年，联邦德国的Willi.Becker首次提出有实用价值的涡轮分子泵，以后相继出现了各种不同结构的分子泵。 1958年，联邦德国的W.贝克初次提出有适用价值的涡轮分子泵，以后相继呈现了各种不同构造的分子泵，主要有立式和卧式两种,图1为立式涡轮分子泵的构造图。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(普通为150～400米/秒)。单个叶轮的紧缩比很小，涡轮分子泵要由

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。 涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。 构建技术平台，合作科研研发。网页到：仪器＋

3、气膜轴承 使用空气膜轴承的涡轮分子泵已有商品出售，因为空气轴承需要在连续不断地供给无颗粒物的干燥的高压空气。这样空气源的故障将会引起金属高速摩擦接触，使轴承瞬间遭到破坏。在泵突然振动或空气突然冲入单端泵时，会猛推转子，空气膜的强度必须是以防止接触。必须经常保持空气源压力大大增加，使空气压强是以克服这种偶然出现的推力。这种泵现在市场上很少有产品出售。 4、磁悬浮轴承 这种磁悬浮轴承在涡轮分子泵上得到

出售国产KYKY中科科仪二手分子泵F-100/150，以下为库存实物图： 　　分子泵使用过程出现的问题8总体安装注意事项 　　①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。 　　②、打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。 　　③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。 　　④、确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。 　　⑤、确认已装入润滑油。 　　⑥、安装方向：油绳润滑：竖直、水平； 　　 油

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。 分类 这种泵具体可分为： 1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。 2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。 3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。 工作条件

本帖为大家介绍一下分子泵的工作方法 一个装有单独粗抽管路的涡轮分子泵抽气系统的操作方法与扩散泵抽气系统相似。在开始粗抽以前，高真空阀和粗抽阀是关着的，而前级管道阀是打开的。 1、首先关闭前级阀，启动粗抽泵(兼前级泵)，打开粗抽阀开始对真空室进行抽气。在真空室内的压力降到150~100Pa时关闭粗抽阀，打开前级管道阀。 2、再启动涡轮分子泵(需先接通冷却系统)。如果分子泵入口处装有液氮冷阱，则应在泵加速到额定转速后(一般需5~

由于涡轮分子泵是高速旋转的机械，因此轴承是涡轮分子泵的关键部件。 涡轮分子泵的轴承有如下几种：1、油润滑轴承 现在大部分涡轮分子泵转子都用油润滑轴承。因为这种轴承在转子的排气侧，因此油蒸汽不会到达涡轮分子泵的入口。油通过轴上开的倒锥孔上油润滑上、下轴承。在油循环的过程中，应能控制加速、减速、全速运转，转速降低运行或电源故障时的油量。转子和轴承的温度可能超过 65℃。通常，高于此温度时油便开始分解，油温度越

分子真空泵是在 1911 年由德国人盖德(w · Gaede) 首先发明的，这种分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。牵引分子泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特